专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种使用NiTi合金外延生长NiGe材料的方法-CN201410605211.8有效
  • 平云霞;侯春雷 - 上海工程技术大学
  • 2014-10-30 - 2015-03-04 - H01L21/28
  • 本发明公开了一种使用NiTi合金外延生长NiGe材料的方法,所述方法是首先在锗衬底表面沉积Ni1-xTix合金层,其中的0.1≤x≤0.6;然后进行快速退火处理:以30~50℃/秒的升温速率升温至300~500℃,保温20~120秒后,在115~200秒时间内冷却至室温;采用化学腐蚀法选择性去除最外层:NiTiGe混合合金层,即得到位于锗衬底表面的外延NiGe本发明方法具有工艺简单,易于工业化实施优点,所生成的NiGe材料连续、均一、平整,可满足作为晶体管器件接触材料的应用要求,并有利于提高晶体管器件的电性能。
  • 一种使用niti合金外延生长nige材料方法

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